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n-seisen半導體氣體過濾器介紹

發布時間：2023-05-29　點擊量：1333

n-seisen半導體氣體過濾器介紹

NASclean®是由微米級不銹鋼短纖維（SUS316L）燒結而成的薄層金屬膜過濾器。 通過從過濾介質（不銹鋼短纖維）到最終產品的一體化生產，我們為半導體、平板顯示器、太陽能電池板等生產過程中使用的氣體的過濾做出貢獻。

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用于工藝氣體

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  • 這是世界上使用不銹鋼短纖維的金屬膜過濾器。

  • 低壓降和高顆粒性能。

  • 適用于100 SLM或更低的流量，可用于各種工藝氣體。

用于散裝氣體

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  • 過濾介質的褶皺形狀即使在高流速下也能實現低壓降。

  • 高溫烘烤是可能的，因為它是全金屬的。

  • 3000牛米3支持高達 /hr 的高流速。

用于設備保護

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  • 用于保護 MFC、閥門、調節器和其他設備的過濾器。

  • 根據使用條件，可以選擇低壓型和高壓型。

  • 可與現有管道一起安裝。

用于 IGS 面板

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  • 集成氣體面板過濾器，兼容 1.125W 密封、1.125C 密封和 1.5W 密封。

  • 通過采用褶皺介質實現緊湊的尺寸。

  • 機械密封用于在介質部分創建無焊接結構。

用于差異器

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  • 褶皺介質可實現高速排氣。

  • 防止顆粒纏繞，有助于提高產品產量。

  • 可根據安裝空間進行設計。