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低壓力損失金屬氣體過濾器

低壓力損失金屬氣體過濾器

產品型號： UCD系列

所屬分類：過濾器

產品時間：2024-09-10

簡要描述：日本pureron低壓力損失金屬氣體過濾器UCD系列
過濾器材料全部采用SUS316L，不用擔心腐蝕和中間產物，同時具備較高的耐熱性能。

詳細說明：

日本pureron低壓力損失金屬氣體過濾器UCD系列

 

  • 過濾器材料全部采用SUS316L，不用擔心腐蝕和中間產物，同時具備較高的耐熱性能。
  • 使用氮氣（N2）輸入，當過濾器輸入側壓力為0.2MPa、流量為90SLM時，輸出側壓力損失△為0.05MPa。
  • 固定或脈動方式下過濾精度經CNC確認達到0.003μm，實現了超微ULSI的制造的成品率大幅度提高。

日本pureron低壓力損失金屬氣體過濾器UCD系列

規格

 

過濾精度0.003μm
推薦流量10～100?/min（各型號區別：參考流量特性曲線)
最高使用壓力0.98MPa(142PSIG) at20℃
最大容許差壓0.7MPa(101.5PSIG) at20℃
最高使用溫度460℃
外部泄漏量2×10-11Pa?m3/sec以下
構成材料外罩:SUS316L（電解研磨處理）元素:SUS316L　內表面粗糙度:Rmax0.7μm以下
連接零件1/4"Gasket seal、其它


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